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MEMS加工

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  • 光刻
    光刻
    接觸式光刻
    步進(jìn)式光刻
    電子束光刻
    雙面對(duì)準(zhǔn)光刻
    勻膠/顯影
    噴膠
    熱板/烘箱
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  • 鍍膜
    鍍膜
    低壓化學(xué)氣相沉積
    等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積
    感應(yīng)耦合化學(xué)氣相沉積
    原子層沉積
    光學(xué)鍍膜
    濺射沉積
    電子束蒸發(fā)
    熱蒸發(fā)
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  • 刻蝕
    刻蝕
    堿性腐蝕
    酸性腐蝕
    光刻膠剝離
    電感耦合等離子刻蝕
    深硅刻蝕DRIE
    深氧化硅刻蝕
    離子束刻蝕
    反應(yīng)離子刻蝕
    灰化
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  • 外延生長(zhǎng)·摻雜
    外延生長(zhǎng)·摻雜
    金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積
    化學(xué)氣相沉積
    離子注入
    高溫氧化
    高溫?cái)U(kuò)散/退火
    快速退火
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  • 切割·減薄
    切割·減薄
    研磨/減薄
    拋光
    激光切割
    刀片切割
    解理機(jī)
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  • 電鍍
    電鍍
    微電鍍
    LIGA微細(xì)加工
    叉指電極
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  • 器件封裝
    器件封裝
    倒裝焊接
    晶圓鍵合
    點(diǎn)膠
    貼片
    引線鍵合
    回流爐
    平行封焊
    TSV（硅通孔）工藝
    TGV（玻璃通孔工藝）
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  • 特殊工藝
    特殊工藝
    硅/玻璃表面微加工技術(shù)
    表面微加工犧牲層工藝
    通孔制作技術(shù)
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