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測(cè)試服務(wù)

測(cè)試服務(wù)

Testing service

薄膜應(yīng)力測(cè)試
儀器簡(jiǎn)介:
薄膜應(yīng)力儀,系統(tǒng)采用非接觸MOS激光技術(shù);不但可以對(duì)薄膜的應(yīng)力、表面曲率和翹曲進(jìn)行精確的測(cè)量,而且還可二維應(yīng)力Mapping成像統(tǒng)計(jì)分析;同時(shí)可精確測(cè)量應(yīng)力、曲率隨溫度變化的關(guān)系;
技術(shù)參數(shù):
1.XY雙向程序控制掃描平臺(tái)掃描范圍:300mm;2m (XY)(可選); 
2.掃描速度:20mm/s(x,y); 
3. XY雙向掃描平臺(tái)掃描*小步進(jìn)/分辨率:1 μm; 
4.平均曲率分辨率:2×10-5 1/m (1-sigma); 
5.中心曲率測(cè)量范圍:Minimum Concave: 2.0m,Minimum Convex: -2.0m; 
                               Maximum Concave: 50km Maximum Convex: - 50km; 
6.應(yīng)力測(cè)量精度:1% 或0.32MPa; 
7.中心應(yīng)力測(cè)量范圍:Minimum Concave: 0.32MPa Minimum Convex: 0.32MPa; 
                               Maximum Concave: 7.80 GPa Maximum Convex: 7.80 GPa
8.應(yīng)力測(cè)量分辨:0.32MPa;
9.平均應(yīng)力重復(fù)性:0.02MPa;
10.Bow測(cè)量高度:0.67mm;
11.Bow測(cè)量分辨率:30nm;



為什么深硅刻蝕中C4F8能起到鈍化作用?
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2024-11-27

RIE是一種結(jié)合了物理濺射和化學(xué)反應(yīng)雙重機(jī)制的刻蝕技術(shù)。在等離子體中,離子和中性自由基共同作用于材料表面。其中,自由基的密度遠(yuǎn)高于離子,它們通...

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【半導(dǎo)體材料】電子封裝材料有哪些?
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2024-11-29

電子封裝材料作為連接芯片與外部世界的橋梁,其重要性不言而喻。合格的封裝不僅能夠?yàn)樾酒峁┪锢肀Wo(hù),實(shí)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格化的互連,更是確保電子產(chǎn)品性能...

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【MEMS工藝】三種常見(jiàn)CVD技術(shù),你知道的有哪些?
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2024-11-04

本文將詳細(xì)介紹目前三種常見(jiàn)的CVD技術(shù)——低壓化學(xué)氣相沉積(LPCVD)、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)以及高密度等離子體化學(xué)氣相沉...

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【微納加工】晶圓傳輸設(shè)備,是智能制造加速器還是成本黑洞?
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2024-11-05

在半導(dǎo)體芯片制造中,從原材料處理到最終封裝測(cè)試,整個(gè)流程涉及上千道工序,每一環(huán)節(jié)都需要精確控制,以確保芯片的性能與質(zhì)量。隨著科技的飛速發(fā)展,...

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